調整槽における前処理で、マイクロバブルの圧壊とオゾンの相互作用によるＯＨラジカル反応によって、排水中の有機物を直接物理的に分解することで、微生物の介在なく有機物（ＢＯＤやＣＯＤ）を大幅に低減します。

さらに活性炭含有特殊担体の入る生物処理槽（曝気槽）へ移行することで、活性炭作用によりオゾンを酸素に変化させます。高濃度の酸素供給が活性炭含有担体のマイクロポーラス内へ行われるため、微生物を通常の曝気以上に活性化させ分解性を高めます。また、マイクロバブル水は浸透性が高まるという特徴を有します。この特徴を利用し、活性炭含有担体への処理水の侵入が従来の曝気法に対し増加し、深部の通性嫌気性菌の活性化をも可能にします。

この結果、担体表層の好気性微生物と担体内部の通性嫌気性微生物の両方が活性化し、有機物分解が促進され、更には両者が食物連鎖を起こす事でＳＳや汚泥の発生がさらに抑えられます。流路内の激しい乱流と、その一方、オゾン＋マイクロバブルの圧壊作用によりＳＳや浮遊性の微生物が分解してしまうために汚泥は殆ど発生せず、沈殿槽を利用することなく、そのまま河川、水路、海域、下水放流が可能となります。

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